Para P&D e análise de falhas na nanofabricação.
Crédito da imagem: Quantum Design
O Vista 300 da Molecular Vista é um nano instrumento IR voltado para monitoramento avançado de processos de semicondutores e análise de defeitos.
O Vista 300 combina um microscópio de força atômica com espectroscopia infravermelha para fornecer Microscopia de Força Fotoinduzida (PiFM), uma técnica que realiza mapeamento químico com uma resolução espacial de <5 nm, que é muito superior aos métodos analíticos concorrentes como TOF-SIMS ou XPS. O PiFM fornece mapas químicos de compostos e materiais moleculares semelhantes a como o EDX realiza mapeamento elementar na nanoescala. Embora o STEM-EDX tenha resolução semelhante ao PiFM, ele só pode ver espécies atômicas. O PiFM, no entanto, mapeia e identifica moléculas, sejam elas contaminantes orgânicos ou poliméricos, partículas inorgânicas ou nanoestruturas, ou filmes e resíduos resistentes a EUV. O PiFM é uma técnica sem contato, portanto, as amostras permanecem limpas, tornando o PiFM supreme para analisar a funcionalização da superfície (mesmo em monocamadas) ou identificar defeitos e partículas em nanoescala.
Uma demonstração notável de PiFM é mostrada nas imagens que acompanham – PiFM é capaz de mapear as diferenças químicas entre padrões de meio passo de 16 nm expostos e não expostos em resiste EUV antes que o resiste seja desenvolvido. A topografia AFM não revela nenhuma pista do padrão exposto, mas PiFM detecta as mudanças químicas causadas pela exposição EUV.
O Vista 300 foi projetado para lidar com wafers completos de 300 mm, mas o faz em um espaço mínimo de apenas 1,1 x 1,1 m2. A ferramenta está totalmente desenvolvida e pronta para pedidos imediatos. Demonstrações do Vista 300 em wafers de clientes ou outras amostras estão disponíveis entrando em contato com o Dr. Shayz Ikram abaixo.
Em 2015, a MVI foi a primeira empresa a demonstrar resolução <10nm com nano IR (vencendo a concorrência em 10X na época) e continua a liderar a indústria hoje com a introdução de novos recursos de automação que tornam o PiFM mais fácil do que nunca. O novo MVI AutoPiFM capacidade identifica materiais e gera mapas químicos e espectros de impressão digital química com entrada mínima do usuário necessária. Sente-se e deixe AutoPiFM faça o trabalho! Da mesma forma, o novo sistema AutoAlign da MVI foca automaticamente e de forma otimizada o feixe óptico IR na ponta do AFM, eliminando a necessidade de o usuário aprender os detalhes do alinhamento óptico. Esses recursos tornam o PiFM totalmente acessível a técnicos de laboratório ou produção.
Com processos de semicondutores mais avançados, dependentes de camadas orgânicas e dielétricas atomicamente finas com tamanhos de recursos cada vez menores, o Vista 300 é uma ferramenta de topografia híbrida e metrologia química perfeita para caracterizar litografia EUV de alto NA, deposição seletiva de camada atômica, processos de ligação híbrida Cu-Cu e defeitos abaixo de 100 nm.
Dr. Sung Park, CEO da Molecular Vista