PI resolve o desafio de foco com mecanismos rápidos e controladores avançados.
Seja na inspeção de wafers semicondutores, na medição de componentes ópticos ou na geração de imagens de amostras biológicas, a qualidade dos dados depende da manutenção do foco perfeito. Os microscópios modernos e os sistemas de metrologia de superfície geralmente funcionam com grandes ampliações, onde a profundidade do foco pode ser de apenas alguns micrômetros – ou até menos. Uma ligeira alteração na altura da amostra, topografia da superfície, desvio térmico ou vibração pode rapidamente tirar o foco da área de interesse, degradando a qualidade da imagem e a precisão da medição.
Opções – Piezo e Bobina de Voz
Sistemas rápidos de foco de nanoprecisão, como o P-725 acionado por piezo da PI e o V-308 acionado por bobina de voz, resolvem esse desafio ajustando continuamente a lente objetiva ou a posição da amostra com resolução em nível nanométrico e tempos de resposta em milissegundos. Na perfilometria óptica e na metrologia de superfície 3D, a varredura de foco rápido permite a reconstrução precisa de características complexas da superfície, enquanto na microscopia automatizada permite que grandes áreas ou múltiplas amostras sejam inspecionadas sem sacrificar a nitidez da imagem.
Inspeção/Metrologia de Semicondutores
A combinação de alta velocidade e precisão nanométrica é especialmente importante na inspeção de semicondutores, onde milhões de características devem ser medidas com rapidez e precisão. Ao minimizar os erros de foco e reduzir os tempos de estabilização, os sistemas de foco de precisão aumentam o rendimento, melhoram a repetibilidade e permitem a detecção confiável de defeitos e estruturas cada vez menores. À medida que as resoluções de imagem continuam a melhorar e as demandas de produção aumentam, os sistemas de foco de nanoposicionamento rápido tornaram-se uma tecnologia crítica para equipamentos de metrologia e microscopia de próxima geração.
Alcançar a precisão nanométrica em milissegundos não requer apenas mecânica e sensores de precisão, mas também eletrônica avançada e algoritmos de controle. A PI fornece controladores de movimento digital de bancada e OEM com linearização e otimização avançadas para aplicações de digitalização e de passo e assentamento rápidos.
Indústrias atendidas e aplicações
Inspeção de semicondutores, metrologia, sequenciamento de DNA, microscopia, fotônica, processamento a laser.